超高電阻/超低電流測(cè)量的 Keithley 靜電計(jì)

從三個(gè)敏感選項(xiàng)中選擇，實(shí)現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測(cè)量。5? 位 6514 型和 6517B 型靜電計(jì)提供 1fA 靈敏度，輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測(cè)量，以及低至 10fC 的電荷測(cè)量。6? 位 6430 型亞 fA 遠(yuǎn)程 SourceMeter SMU 儀器能夠以 1aA 的靈敏度測(cè)量電流。其噪聲低、偏差小，非常適用于研究單電子器件、高電阻納米線和納米管、聚合物以及電化學(xué)應(yīng)用。

吉時(shí)利5位半6517B靜電計(jì)/高阻表提供的精 度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類(lèi)型儀表。它還具有 完備的功能，使測(cè)量高阻和絕緣材料電阻率變得 簡(jiǎn)單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測(cè)試速率，比同 類(lèi)型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡(jiǎn)易的弱 電流測(cè)量能力測(cè)量弱電流。

主要特點(diǎn):

• 電阻測(cè)量可達(dá)1016 Ω

• 電流測(cè)量范圍1fA - 20mA

• 最小電流量程輸入端壓降<20μV

• 200TΩ 輸入阻抗

• <3fA 偏置電流

• 測(cè)試速率高達(dá)425 rdgs/s

• 噪聲0.75fA p-p

• 內(nèi)置±1kV電壓源

• 獨(dú)特的高電阻測(cè)量電壓反接方法

• 可選的插件式掃描卡

出眾的性能指標(biāo)

半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對(duì)于 接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確 度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡(jiǎn)化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試 和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測(cè)量。

測(cè)量范圍寬

6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過(guò)電流、電阻、電壓和電荷測(cè)量滿量程：
? 電流測(cè)量范圍：1fA - 20mA
? 電壓測(cè)量范圍：10μV - 200V
? 電阻測(cè)量范圍：50Ω - 1016Ω
? 電荷測(cè)量范圍：10fC - 2μC

改進(jìn)的高靈敏度測(cè)量

許多測(cè)試應(yīng)用要求測(cè)量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測(cè) 量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測(cè)量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測(cè)量，但利用 吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測(cè)量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測(cè)量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率 讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問(wèn)題， 并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測(cè)量，特別是與8009型電 阻測(cè)試夾具一起使用時(shí)。

變換極性法

6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第一級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在指定延遲（測(cè)量時(shí)間）后測(cè)量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測(cè)量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過(guò)程，并根據(jù)4個(gè)最新電 流測(cè)量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對(duì)大多數(shù)材料來(lái)說(shuō)，通過(guò)7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻 率）測(cè)量結(jié)果。例如，利用8009型測(cè)試夾具0.3%的重復(fù)度，可對(duì)1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測(cè)量，在15秒測(cè)試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

與數(shù)字多用表類(lèi)似的簡(jiǎn)單操作

6517B型靜電計(jì)/高阻表采用與數(shù) 字多用表類(lèi)似的簡(jiǎn)易操作，可通過(guò)前 面板，利用單一按鈕控制電阻測(cè)量等 重要功能。還可以通過(guò)內(nèi)置IEEE-488 接口實(shí)施控制，因此，可利用計(jì)算機(jī) 控制器通過(guò)總線對(duì)所有功能進(jìn)行編程。

高精度高阻測(cè)量

6517B型靜電計(jì)/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測(cè)量應(yīng)用的 準(zhǔn)確度。例如，其內(nèi)置電壓源簡(jiǎn)化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之 間關(guān)系的確定。它還非常適合電容器 泄漏和絕緣電阻測(cè)量、印刷電路板表 面絕緣電阻測(cè)試、電阻器電壓系數(shù)測(cè) 試以及二極管泄漏特性分析。

溫度和濕度測(cè)試

濕度和溫度可能?chē)?yán)重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準(zhǔn)確比較在不 同情況下測(cè)得的讀數(shù)，6517B型靜電 計(jì)/高阻表提供內(nèi)置K型熱電偶和一個(gè) 可選的6517-RH型相對(duì)濕度探頭。其 內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)緩沖器允許記錄和調(diào)用 具有時(shí)間、溫度和相對(duì)濕度Stamping 的讀數(shù)。

附件擴(kuò)展測(cè)量能力

利用多種可選附件，可以擴(kuò)展 6517B型靜電計(jì)/高阻表的應(yīng)用，并改 進(jìn)其性能。

掃描卡。利用兩張掃描卡，可以簡(jiǎn)化 多個(gè)信號(hào)的掃描。每張卡都可以輕松 插入儀器后面板的插槽。6521型掃描 卡提供10個(gè)低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個(gè)高阻抗電壓開(kāi) 關(guān)或低電流開(kāi)關(guān)通道。

測(cè)試夾具。8009型電阻率夾具是一款 受保護(hù)的測(cè)試夾具，用于樣本材料的 體電阻率和表明電阻率測(cè)量。它包括 按ASTM標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計(jì) /高阻表預(yù)編程，因此無(wú)需計(jì)算其數(shù) 值，可以稍后手動(dòng)輸入。這個(gè)附件旨 在保護(hù)用戶(hù)避免接觸潛在的危險(xiǎn)電壓 ——自動(dòng)開(kāi)啟夾具蓋，關(guān)閉6517B型 靜電計(jì)/高阻表電壓源輸出。

應(yīng)用

6517B型靜電計(jì)/高阻表非常適合物 理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究 領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測(cè)量。其極低的電壓降非常適合太陽(yáng) 能電池測(cè)量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測(cè)量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn) 測(cè)試（包括漏流、擊穿和電阻測(cè)試）應(yīng) 用的極好選擇。利用6517B型靜電計(jì)/高 阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對(duì) 絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測(cè)量。 6517B型靜電計(jì)/高阻表還非常適合電化 學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測(cè)量、 電導(dǎo)電池和電勢(shì)測(cè)定。

改進(jìn)型6517B靜電計(jì)/高阻表

6517B型靜電計(jì)/高阻表是一款升 級(jí)型號(hào)，用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器 建造的軟件應(yīng)用程序無(wú)需任何修改即可 用于6517B型靜電計(jì)/高阻表。不過(guò)，同 早期的6517A設(shè)計(jì)相比，6517B型靜電 計(jì)/高阻表進(jìn)行了一些改進(jìn)。其內(nèi)部電 池供電的內(nèi)存緩存可存儲(chǔ)高達(dá)50,000個(gè) 讀數(shù)，允許用戶(hù)更長(zhǎng)時(shí)間地記錄測(cè)試結(jié) 果，并存儲(chǔ)更多與讀數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)。該 新型儀器還為內(nèi)部緩存提供更快的讀取 速度(高達(dá)425讀數(shù)/秒)，還可通過(guò)IEEE 總線存入外部存儲(chǔ)器(速度高達(dá)400讀數(shù) /秒)。為了滿足現(xiàn)代連接和安全需求， 6517B型還連接器進(jìn)行了幾處改動(dòng)。

電壓

常模抑制比（NMRR）：2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共態(tài)抑制比（CMRR）：直流時(shí)>120dB，50Hz或60Hz。
輸入阻抗：>200TΩ，并聯(lián)20pF電容，保護(hù)電容<2pF(1MΩ零檢查)。
前置放大器輸出端的小信號(hào)帶寬: 典型值100kHz (–3dB)。

注：

1. 適當(dāng)歸零時(shí)，5?位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開(kāi)啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
2. 線路同步。

電流

輸入偏置電流：<3fA（典型值）。
溫度系數(shù) = 0.5fA/°C，20pA量程。
輸入偏置電流噪聲：<750aA p-p (capped input)，帶寬0.1Hz～10Hz， 阻尼。數(shù)字濾波器= 40讀數(shù)，量程20pA。
輸入電壓降（典型溫度±1°C）：
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA與20μA量程時(shí)，<20μV。
在200pA, 200nA與200μA量程時(shí)，<100μV。
在2mA量程時(shí)，<.2mV。在20mA量程時(shí)，<5mV。
輸入電壓降溫度系數(shù)：在pA, nA與μA量程時(shí)，<10μV/°C。
前置放大器建立時(shí)間(達(dá)到最終值10%)典型值：在pA量程時(shí)， 為0.5s (阻尼關(guān)閉)和2.0 s (阻尼開(kāi)啟)。在nA量程時(shí)，為15ms (阻尼關(guān)閉)；在μA量程時(shí)，為1ms (阻尼關(guān)閉)；在mA量程時(shí)， 為500μs (阻尼關(guān)閉)。
常模抑制比（NMRR）：在50Hz或60Hz3時(shí)，在各個(gè)量程均>60dB。

注：
1. 適當(dāng)歸零時(shí)，5?位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開(kāi)啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
2. aA = 10-18A，fA = 10-15A
3. 線路同步。

電阻(常規(guī)方法)

注：
1. 自動(dòng)電壓源歐姆性能指標(biāo)，適當(dāng)歸零時(shí)，5?位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開(kāi)啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。如果需要用戶(hù)可選電壓，請(qǐng)使用手動(dòng)模式。手動(dòng)模式顯示通過(guò)測(cè) 得電流計(jì)算出的電阻(高達(dá)1018Ω)。其準(zhǔn)確度等同于電壓源準(zhǔn)確度加選定電流量程的準(zhǔn)確度。
前置放大器建立時(shí)間：在電流性能指標(biāo)中，為前置放大器建立時(shí)間增加電壓源建立時(shí)間。
超過(guò)20GΩ的范圍需要根據(jù)載荷特性額外設(shè)定。

電阻(變換極性法)

變換極性序列可以補(bǔ)償待測(cè)材料或期間的背景（偏移）電流。最大容許偏移為所用電流量程 的滿刻度。
使用吉時(shí)利8009夾具
可靠性：ΔIBG?× R/VALT?+ 0.1% (1σ) (儀器溫度常數(shù)±1°C)。
準(zhǔn)確度：(VSRCErr + IMEASErr × R)/VALT
其中：ΔIBG是測(cè)量得到的來(lái)自樣本和測(cè)試夾具的典型背景電流噪聲。
VALT是使用的變換極性電壓。
VSRCErr是使用VALT作為設(shè)置的電壓源準(zhǔn)確度(單位：V) 。
IMEASErr是使用作為VALT?/R讀數(shù)的電流計(jì)準(zhǔn)確度(單位：A)。

電壓源

最大輸出電流：
100V量程：±10mA, 在<14mA時(shí)，采取硬件短路電流保護(hù)。
1000V量程：±1mA, 在<1.4mA時(shí)，采取硬件短路電流保護(hù)。
建立時(shí)間：
100V量程：到達(dá)額定準(zhǔn)確度<8m s。
1000V量程：到達(dá)額定準(zhǔn)確度<50ms。
噪聲(典型值)：
100V量程：<2.6mV rms。
1000V量程：<2.9mV rms。

電荷

注：
1. 性能指標(biāo)適用于電荷剛采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) TA?RC 其中，TA?= 電荷歸零與測(cè)量之間的時(shí)間周期（單位：秒）
QAV = 在TA周期測(cè)得的平均電荷，RC = 300,000（典型值）。
2. 適當(dāng)歸零時(shí)，5?位，1個(gè)PLC (電力線周期)，中值濾波器開(kāi)啟, 數(shù)字濾波器 = 10個(gè)讀數(shù)。
輸入偏置電流: 典型值時(shí)，<4fA。溫度系數(shù)= 0.5fA/°C，量程2nC。

溫度（熱電偶）

注：1. 不包括探測(cè)誤差，Tcal ± 5°C, 1 PLC積分時(shí)間。

濕度

注： 1. 必須增加濕度探測(cè)準(zhǔn)確度。對(duì)于6517-RH型，為±3% RH，探測(cè)環(huán)境溫度高達(dá)65°C， 不超過(guò)85°C。

6517B型靜電計(jì)/高阻表后面板

IEEE-488總線實(shí)現(xiàn)

實(shí)現(xiàn)：SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
從觸發(fā)到完成讀數(shù)：150ms典型值，包括外部觸發(fā)器。
RS-232實(shí)現(xiàn)：支持：SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k與115.2k。
流程控制：無(wú)，Xon/Xoff。
連接器：DB-9 TXD/RXD/GND。

公共指標(biāo)

過(guò)量程指示：當(dāng)讀數(shù)>105%量程時(shí)，顯示讀數(shù) “OVERFLOW”（超額）。對(duì)于 嚴(yán)重過(guò)量程情況，顯示 “OUT OF LIMIT”（超限）。
量程設(shè)置：自動(dòng)或手動(dòng)。
轉(zhuǎn)換時(shí)間：可選擇0.01PLC至10PLC。
最大輸入：250V峰值，直流至60Hz正弦波；對(duì)于mA量程，每分鐘最大值10s。
最大共模電壓(直流至60Hz正弦波)：靜電計(jì)，500V峰值；電壓源，750V峰值。
隔離(儀表公共端至底盤(pán))：>1010Ω,<500pF。
輸入連接器：后面板包含3個(gè)三同軸電纜連接器。
2V模擬輸出：對(duì)滿量程輸入，為2V。在電壓模式下非反相，測(cè)量電流、電阻 或電荷時(shí)反相。輸出阻抗10kΩ。
峰值輸出：為電壓測(cè)量提供保護(hù)輸出。在電流和電荷模式下可以用作反相輸出 或外部反饋。
外部觸發(fā)器：TTL兼容的外部觸發(fā)器與靜電計(jì)。
保護(hù)：切換至可用電壓保護(hù)。
數(shù)字I/O與觸發(fā)線路：可用，參見(jiàn)使用手冊(cè)。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全：符合歐盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
讀數(shù)存儲(chǔ)：50,000。
讀數(shù)率：
至內(nèi)部緩存：425 讀數(shù)/秒1
至IEEE-488總線：400讀數(shù)/秒1,2
總線傳輸：3300讀數(shù)/秒2
1. 0.01PLC，數(shù)字濾波器關(guān)閉，前面板關(guān)閉，溫度+ RH關(guān)閉，線路同步關(guān)閉。
2.二進(jìn)制傳輸模式。
數(shù)字濾波器 ：中值 和平均。
環(huán)境：工 作：0 ～ 50°C；相對(duì)濕度70%非冷凝，最高35°C。
存儲(chǔ)：–25 ～ +65°C。
海拔：最高高出海 平面2000 m，符合EN 61010-1標(biāo)準(zhǔn)。
預(yù)熱：1小時(shí)至額定準(zhǔn)確度(關(guān)于推薦的程序，參見(jiàn)手冊(cè))。
電源：用戶(hù)可選擇100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA最大值。
外形：箱體尺寸：90mm 高× 214mm 寬 × 369mm 長(zhǎng)(3? in. × 8? in.× 14? in .)。
工作尺寸：從殼體前面到后面（包括電源線和IEEE-488連接器）：15.5 in。
凈重：5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重：6.9kg (15.11 lbs.)。

6430亞fA程控源表集合了吉時(shí)利源表 和源測(cè)量單元（SMU）產(chǎn)品的電壓源和電流 源及測(cè)量功能，比靜電計(jì)靈敏度更高，噪 聲更低，輸入阻抗更高。這種獨(dú)特的性能 是通過(guò)6430遠(yuǎn)端前置放大器實(shí)現(xiàn)的，它提 供非常靈敏的雙向放大器，用于測(cè)量或產(chǎn) 生被測(cè)試器件的電流。遠(yuǎn)端前置放大器輸 出的高電平信號(hào)通過(guò)一條2米長(zhǎng)的線纜發(fā) 送到控制主機(jī)上。這使得用戶(hù)可以直接， 或者近距離連接該信號(hào)，減少線纜噪聲 的影響。

主要特點(diǎn):

• 0.4fA p-p (4E-16A)噪聲

• 遠(yuǎn)端前置放大器可以位于信號(hào)源處以減少線纜噪聲

• 電壓測(cè)量的輸入阻抗>1016Ω

• 高速——達(dá)2000讀數(shù)/秒

• 分辨率達(dá)6位半

• 快速元件特性分析，帶可編程數(shù)字I/O和接口

6430按照靜電計(jì)無(wú)法達(dá)到的速度測(cè)量 電壓、電流與電阻。它可以每秒讀取最多 2000源/測(cè)量讀數(shù)，讀入內(nèi)部存儲(chǔ)器中。 可以測(cè)量快速小電流，100nA量程可響應(yīng) 短至5ms的信號(hào)，較大量程可響應(yīng)幾百微 秒的信號(hào)。

6430的獨(dú)特特點(diǎn)包括其優(yōu)秀的低電 流靈敏度和遠(yuǎn)端前置放大器，這通過(guò)避 免長(zhǎng)輸入線纜發(fā)揮了靈敏度的作用。遠(yuǎn) 端前置放大器是6430反饋測(cè)量系統(tǒng)的主 要部分，雖然通過(guò)長(zhǎng)達(dá)2米，帶載高電平 信號(hào)的連接線纜它能離開(kāi)主機(jī)一段距離 但是它不能獨(dú)立于測(cè)量主機(jī)工作。

應(yīng)用

6430的功能使其同樣適于在測(cè)試實(shí) 驗(yàn)室的研究工作和復(fù)雜元件的評(píng)估，結(jié) 合其它源測(cè)量?jī)x器或SMU用于在較高電平 上進(jìn)行低電流、高電阻或高靈敏度的半 導(dǎo)體測(cè)量。6430的低噪聲和漂移性能也非 常適合高阻性納米線和其它高阻納米材 料的研究。

高速數(shù)據(jù)處理

6430能以超過(guò)2000個(gè)讀數(shù)/秒的速度 讀至其內(nèi)存緩沖器。IEEE-488總線輸出能 每秒發(fā)送達(dá)75個(gè)源/測(cè)量讀數(shù)至外部計(jì)算 機(jī)控制器，包括通過(guò)/失效指示。

6430能提供達(dá)2.2W的4象限源， 以及低至亞fA和微伏電平的測(cè)量 靈敏度。在高達(dá)20V，它能測(cè)量從 1pA量程（僅0.4fA峰峰值噪聲）至 100mA量程的電流。可提供200mV至 200V的電壓范圍。電流和電壓量程 設(shè)置定義了源或阱電壓或電流的 最大值。

典型應(yīng)用：

半導(dǎo)體測(cè)量

基于FET元件中的柵 極漏電或溝道漏電會(huì)在 MOSFET、FET、模擬開(kāi)關(guān)和許 多其它電路中產(chǎn)生誤差。通 過(guò)允許研究人員測(cè)量極低電 平的電流和電壓，6430能幫 助他們了解這些元件的設(shè)計(jì) 局限以及研究替代器件的結(jié) 構(gòu)或材料。

測(cè)量FET的柵極漏電和溝道電

SET研究

6430具有的優(yōu)秀低電流測(cè)量能力（<0.4fA峰峰值）使其對(duì)于單電子晶體管 （SET）和量子點(diǎn)研究非常有用。使用類(lèi)似于鎖定的技術(shù)，6430能以1aA靈敏度測(cè)量 電流（10–18A=6電子/秒）。

測(cè)量行業(yè)的最低噪聲和漂移

下圖的數(shù)據(jù)表明6430在5小時(shí)期間內(nèi)穩(wěn)定性非常突出，而且短期的低噪聲性能 優(yōu)秀。使用6430的AUTOFILTER以5秒上升時(shí)間在1pA量程上實(shí)現(xiàn)微弱信號(hào)采集。插 圖中的細(xì)節(jié)是濾波信號(hào)的截圖，顯示了6430型在最開(kāi)始的100秒期間的低噪聲性能 （僅200aA峰峰值）。在溫度變化約1°C的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下提取數(shù)據(jù)，其中6430的IN/ OUT HI和SENSE引線接防護(hù)罩。

濃縮的測(cè)量指標(biāo)1

電壓測(cè)量準(zhǔn)確度（4線感測(cè)）3

溫度系數(shù)（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度）/°C。附加的測(cè)量指標(biāo)

附加的測(cè)量指標(biāo)

輸出建立時(shí)間（典型值為最終值的10%）：<2s，1pA和10pA量程；<50ms，100pA 至10nA量程；<5ms，100nA至100mA量程。
電流噪聲：在1分鐘間隔觀察時(shí)，90%的間隔中峰峰值噪聲在400aA以?xún)?nèi)， 在使用Autofilter（5s 10% -90%的上升時(shí)間），使用三同軸連接器防護(hù) 罩，Autozero OFF、Source Delay=0，使用1pA量程至少3分鐘的條件下。

電流測(cè)量準(zhǔn)確度（2線或4線感測(cè)）4

溫度系數(shù)（0°C-18°C & 28°C-40°C）：±[（0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度）+1fA]/°C。
輸入電流：<3fA@23°C，<40%相對(duì)濕度；通常為±0.5fA/°C在23°C左右，<40% 相對(duì)濕度。

電阻測(cè)量準(zhǔn)確度（4線感測(cè)帶遠(yuǎn)端前置放大器）

輸出電流模式，自動(dòng)電阻

溫度系數(shù)（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度）/°C。
輸出電流模式，手動(dòng)電阻：不確定度總和=電流輸出準(zhǔn)確度+電壓測(cè)量準(zhǔn)確度 （四線測(cè)量）。
輸出電壓模式：不確定度總和=電壓輸出準(zhǔn)確度+電流測(cè)量準(zhǔn)確度（四線測(cè) 量）。
6線電阻模式：可使用有源電阻防護(hù)和防護(hù)檢測(cè)（僅主機(jī)后面板）。防護(hù)輸出 電流最大值：50mA。準(zhǔn)確度取決于負(fù)載。查閱手冊(cè)獲取計(jì)算公式。
主機(jī)防護(hù)輸出電阻：0.1Ω，電阻模式。

注解：

1.速度=10PLC，Autofilter ON，正確歸零和穩(wěn)定。
2.輸出電流模式，I=0。
3.電壓測(cè)量準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器的影響。
4.電流測(cè)量準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器影響；然而，1pA~100nA量程僅當(dāng) 使用前置放大器時(shí)可用。
5.四線模式。
6.僅手動(dòng)電阻模式。
7.激活源回讀，失調(diào)補(bǔ)償開(kāi)。源時(shí)延必須設(shè)置為使源完全穩(wěn)定才能讀數(shù)。

濃縮的系統(tǒng)速度

測(cè)量1

量程變化速度的最大值：75/s。
單讀數(shù)工作模式的讀速度（讀數(shù)/秒），在60Hz（50Hz）條件下：

濃縮的源指標(biāo)4

電壓設(shè)置準(zhǔn)確度（4線感測(cè)）5

溫度系數(shù)（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度）/°C。
最大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±21V@±105mA，±210V@±10.5mA。
電壓調(diào)整率：線路調(diào)整率：量程的0.01%。負(fù)載調(diào)整率：量程的0.01%+100μV。
噪聲10Hz~1MHz（峰峰值）：10mV。
過(guò)壓保護(hù)：用戶(hù)可選擇，5%公差。工廠缺省為None。
電流鉗制：雙極性電流極限（容限）設(shè)為一個(gè)值。量程的0.1%（最小值）。

電流設(shè)置準(zhǔn)確度（帶遠(yuǎn)端前置放大器）

溫度系數(shù)（0°C~18°C & 28°C~40°C）：±（0.15×規(guī)定的準(zhǔn)確度）/°C。
最大輸出功率：2.2W（4象限源或阱工作）。
源/阱極限：±10.5mA@±210V，±105mA@±21V。
電流調(diào)整率：線路調(diào)整率：量程的0.01%。負(fù)載調(diào)整率：量程的0.01%+1fA。
電壓極限：雙極性電壓極限（容限）設(shè)為一個(gè)值。量程的0.1%（最小值）。

注解：

1.讀數(shù)速率可用于電壓或電流測(cè)量。關(guān)閉自穩(wěn)零，關(guān)閉自動(dòng)量程，關(guān) 閉濾波器，關(guān)閉顯示，觸發(fā)延時(shí)=0，源自動(dòng)清空，并且采用二進(jìn)制讀 數(shù)格式。
2.采用上限和數(shù)學(xué)下限進(jìn)行通過(guò)/失效測(cè)試。
3.包含測(cè)量之前重新設(shè)置源至新電平的時(shí)間。
4.對(duì)于阱模式，1pA~100mA量程，準(zhǔn)確度是±(0.15%+偏移*4)。
5.電壓源準(zhǔn)確度不受遠(yuǎn)端前置放大器的影響。

綜合說(shuō)明

負(fù)載阻抗：穩(wěn)定至20000pF在100mA至100μA量程，470pF在10μA和1μA量 程，以及100pF在nA和pA量程。查閱用戶(hù)手冊(cè)獲取大電容性負(fù)載測(cè)量的 詳細(xì)說(shuō)明。
共模電壓：±42VDC最大值。
共模隔離：>109Ω，<1000pF。
過(guò)量程：量程的105%，源和測(cè)量。
輸入/輸出與測(cè)量端子之間的最大壓降：5V。（為滿足規(guī)定的準(zhǔn)確度用4線測(cè) 量，請(qǐng)參閱用戶(hù)手冊(cè)。）
測(cè)試線電阻最大值：10Ω，對(duì)于額定準(zhǔn)確度。
測(cè)試輸入電阻：1MΩ。
主機(jī)防護(hù)偏置電壓：300μV，典型值。
前置放大器防護(hù)偏置電壓：1mV典型值。
前置放大器防護(hù)輸出電阻：110kΩ。
源輸出模式：固定直流電平，內(nèi)存列表（混合功能），階梯波掃描（線性和 對(duì)數(shù)）。
源內(nèi)存列表：100點(diǎn)（最大值）。
內(nèi)存緩沖區(qū)：5,000個(gè)讀數(shù)/秒@5位半（2個(gè)2,500點(diǎn)緩沖區(qū)）。包括所選的測(cè) 量值和時(shí)間戳。鋰電池備份（電池壽命超過(guò)3年）。
數(shù)字接口：
安全互鎖：有源低電平輸入：
處理程序接口：測(cè)試開(kāi)始，測(cè)試結(jié)束，3類(lèi)比特。+5V@300mA電源。
數(shù)字I/O：1觸發(fā)輸入、4 TTL/繼電器驅(qū)動(dòng)輸出（33V@500mA阱、二極管鉗 位）。
可編程性：IEEE-488(SCPI-1995.0)，RS-232，5種用戶(hù)定義的上電狀態(tài)加上 出廠缺省設(shè)置和*RST。
電源：100V~240V有效值，50Hz~60Hz（上電時(shí)自動(dòng)檢測(cè)），100VA最大值。
EMC：符合歐盟指令89/336/EEC EN 55011，EN 50082-1，EN 61000-3-2和 61000-3-3，F(xiàn)CC第15部分Class B。
安全性：符合歐盟指令73/23/EEC EN 61010-1。
振動(dòng)：MIL-PRF-28800F，Class 3。
預(yù)熱時(shí)間：1小時(shí)達(dá)到額定準(zhǔn)確度。
規(guī)格：89mm高×213mm寬×370mm深（3 1/2 in×8 3/8 in×14 9/16 in）。
測(cè)試臺(tái)尺寸配置（帶手柄和支腳）：104mm高×238mm寬×370mm深（4 1/8 in×9 3/8 in×14 9/16 in）。
放大器：20mm高×57mm寬×97mm深（0.783 in×2.225 in×3.75 in）。
重量：5.9公斤（13磅）。
工作環(huán)境：工作條件：0°~40°C，60%相對(duì)濕度（不凝結(jié)）至35°C。在 35°~40°C范圍內(nèi)，相對(duì)濕度降低5%/°C。存儲(chǔ)條件：–25°C~65°C，不凝 結(jié)的濕度。

超高電阻/超低電流測(cè)量的 Keithley 靜電計(jì)